




氦質(zhì)譜檢測儀的標準器選擇
北京科儀真空技術有限公司專業(yè)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀,今天科儀的小編就大家來分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀的標準器的選擇,希望對大家有所幫助!
標準器 采 用 滲 氦 型 標 準 漏 孔,漏 率 標 稱 值 在( 10 - 6 ~ 10 - 10 ) Pa·m3 /s,不確定度不大于 10% 。
精密玻璃溫度計,測量范圍(0 ~ 50) ℃ ,不確定度 U = 0. 04℃ ,k = 2。
氦質(zhì)譜檢漏儀的校準方法
氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術性能指標,通過實驗,總結通過氦質(zhì)譜檢漏儀對其漏率校準的方法。
氦質(zhì)譜檢漏儀原理:
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不
氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。
氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標準漏孔,可將標準漏孔拆卸進行校準,如果不能單獨校準標準漏孔,就可考慮直接通過氦質(zhì)譜檢漏儀進行漏率部分的校準,本文主要討論這種情況下氦漏率的校準方法。
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真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點
真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)
1.配置與氣路控制
真空箱:一般為雙工位,兩個不銹鋼真空箱,開門裝置可采用液壓方式,或加配重的手動方式。
工件抽空系統(tǒng):低真空泵及閥門,低真空測量充氮與回收系統(tǒng):氦氣儲存罐(高壓罐),氦氣回收取罐(低壓罐),主壓縮機,輔壓縮機,過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。
真空箱抽氣系統(tǒng):為自動控制型,由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器),充氦回收系統(tǒng),真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計,同時,實施對整個系統(tǒng)的工作控制,對檢漏過程和結果顯示。
2.系統(tǒng)檢測過程
1)、通過v1、V4,泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空,如果限定的時間內(nèi)抽到限定的真空度,此時,電氣控制系統(tǒng)關閉V1,打開V2
2)、充氦系統(tǒng)通過V2對工件進行充氦至核定的壓力,穩(wěn)定,關閉V2
3)、關閉V4,打開V3、V5,處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏,如果不漏,電氣控制系統(tǒng)指揮關斷V3、V5,打開V2對氦氣進行回收。
4)、關閉V2打開V6對真空箱放氣,開啟真空箱更換工件。
5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設定值(漏率)的工件,檢漏儀聲光報警,將:工作內(nèi)的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除,免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。
6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。
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